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Retroreflektierende Ellipsometrie

Retroreflektierende Ellipsometrie
Ansprechpartner:

M.Sc. Chia-Wei Chen

Projektgruppe:

Sichtprüfsysteme (SPR)

Projektbeschreibung

Ellipsometrie ist eine weit verbreitete Methode zur Charakterisierung von Materialien und dünnen Filmen. Die Vorteile der Ellipsometrie sind zerstörungsfreie Prüfung und hohe Präzision. Dieses Verfahren kann auf viele verschiedene Anwendungen angewendet werden, z. B. in der Halbleiter-, Chemie- und Displayindustrie. Ellipsometers messen die Änderung des Polarisationszustände von Licht bei Reflexion oder Transmission an einer Probe. Messungen in diesen Anordnungen sind nur für ebene oder nahe ebene Flächen möglich. Geringfügige Abweichungen von der idealen Einstellung können zu erheblichen experimentellen Fehlern führen. Bei größeren Fehlausrichtungen ist es fast unmöglich, auswertbare Signale zu erhalten. Um diese Einschränkung zu überwinden, wurde das Konzept der retroreflektierenden Ellipsometrie entwickelt. Die Kombination von reflektometrischen und ellipsometrischen Messungen von Proben kann optische Eigenschaften und Oberflächentopometrie von Proben bereitstellen. Der Retroreflektor in dieser Anordnung hat eine hohe Neigungswinkeltoleranz, d. H. Inline-Messung ist möglich.