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Automatische Inspektion spiegelnder Oberflächen mittels inverser Muster

Zeitschriftenartikel

Links:
Autoren:

Stefan Werling
Jürgen Beyerer

Quelle:

tm Technisches Messen 74 Nr. 4, Oldenbourg Verlag, München, 2007.

Seiten:

217-223

Der Einsatz von inversen Mustern zur schnellen und robusten Prüfung spiegelnder Freiformflächen wird vorgestellt. Beobachtet man bekannte Muster, die z.B. in einem LC-Display dargestellt werden, über eine spiegelnde Oberfläche, erscheinen diese dem Betrachter deformiert und verzerrt. Mittels bekanntem 3D-Modell des Prüfobjekts bzw. Messung an einem Referenzobjekt können vorab sogenannte inverse Muster berechnet werden. Diese Muster erzeugen über die Abbildung des Prüfobjekts unverzerrte Muster in der Kameraebene. Damit ist die Oberflächentopographie im inversen Muster implizit vorhanden. Die automatische Oberflächenprüfung beschränkt sich jetzt auf die Auswertung eines Musters, womit ein deutlicher Geschwindigkeitsvorteil zu den bisherigen deflektometrischen Verfahren erzielt wird.